全自動探針台

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SJD AK-F-200 8吋全自動探針台

SJD AK-F-200 8吋全自動探針台

SJD AK-F-200 8英吋全自動探針台，旨在提供高效能且精準的晶圓量測。系統配備全自動裝載口（Loader），整合了晶圓載具 (Cassette)、高精度晶圓取放手臂及自動尋邊器 (Aligner)，實現從自動取片、精準對位到測試產出的全程無人化作業，大幅優化量測吞吐量並確保數據一致性。
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DETAIL
AKF 系列全自動探針測試台
SJD AK-F-200｜8 吋全自動探針測試解決方案（200 mm）
精準 × 穩定 × 高功率量測
SJD AK-F-200 為 AKF 系列 8 吋全自動探針測試台，專為高可靠度晶圓電性量測而設計。結合全自動化控制、高功率支援與直覺式軟體介面，提供穩定、精準且高效率的測試體驗，廣泛適用於研發、製程驗證及先進元件測試應用。

支援多元測試環境
  • 支援 8 吋（200 mm）晶圓
  • 量測溫度範圍 –40°C 至 200°C，滿足高低溫測試需求
  • 專為 高功率應用 打造，最高可支援 3 kV / 200 A
全方位電性量測能力
  • 適用於 IV / CV / RF 量測
  • 彈性配置，對應多種元件與測試條件
領先業界的安全與穩定技術
  • 搭載 專利 Anti ArcTech® 防電弧技術
  • 全球首創的防電弧解決方案，有效提升高電壓量測的安全性與測試穩定度
高效能硬體設計
  • 高功率真空吸附晶圓盤，確保量測過程穩定可靠
  • 高電壓、高電流探針組，因應嚴苛測試需求
智慧化系統整合
  • 透過 GPIB 介面 與量測儀器無縫整合，支援測試自動化
  • 直覺易用的軟體介面，快速設定、輕鬆操作，提升整體測試效率
全自動晶圓處理
  • 整合晶圓載台(Cassette)、晶圓機械手臂(Robot Arm)與晶圓尋邊器(Aligner)，實現無人化連續測試。
  • 高產能設計
採用交叉滾柱軸承，結構穩固。

選配彈性，因應不同需求
  • 防震系統（Vibration System）
  • CDA / 真空系統（CDA / Vacuum System）

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