AK 系列手動探針座:SJD AK-M-100 (4 英吋 / 100mm)
SJD AK-M-100 是一款專為實驗室開發設計的 4 英吋手動探針系統,具備高穩定性與優異的擴充靈活性,是進行半導體元件特性分析的理想基礎平台。
1. 基礎設備規格 (Base Specifications)
為了因應不同的測試需求,AK-M-100 提供豐富的模組化選配方案:
SJD AK-M-100 是一款專為實驗室開發設計的 4 英吋手動探針系統,具備高穩定性與優異的擴充靈活性,是進行半導體元件特性分析的理想基礎平台。
1. 基礎設備規格 (Base Specifications)
- 晶圓尺寸: 支援最高 4 英吋 (100mm) 晶圓及各式小尺寸樣品量測。
- 操作模式: 全手動精密控制,提供直覺且精準的定位體驗。
- 微弱電流測試: 具備低洩漏(Low Leakage)特性,確保訊號擷取的純淨度。
- 高頻測試支援: 支援高頻(High Frequency)量測環境,滿足射頻元件評估需求。
為了因應不同的測試需求,AK-M-100 提供豐富的模組化選配方案:
- 溫控系統 (Thermal Chuck): 可整合高低溫載台,支援 -40 °C 至 +200 °C 的溫度特性測試。
- 探針類型: 可依應用需求選配 DC (直流)、CV (電容-電壓) 或 RF (射頻) 專用探針。
- 環境輔助: 可整合 CDA (乾燥空氣) 或 Vacuum (真空) 系統,用於樣品吸附或環境控制。


