SJD AK-M-200 | 8 英吋手動探針量測系統
兼具高精密量測與高度擴充性的專業平台
SJD AK-M-200 專為 8 英吋（200mm）晶圓開發，提供卓越的機械穩定性與靈活的配置選項，能滿足從基礎直流（DC）到複雜射頻（RF）的多樣化量測需求。
核心技術特點
為了因應不同的研發場景，本系統提供豐富的升級選項：
兼具高精密量測與高度擴充性的專業平台
SJD AK-M-200 專為 8 英吋（200mm）晶圓開發，提供卓越的機械穩定性與靈活的配置選項，能滿足從基礎直流（DC）到複雜射頻（RF）的多樣化量測需求。
核心技術特點
- 大尺寸支援：支援最高8英吋 (200mm) 晶圓測試。
- 極致信號精度：專為低漏電 (Low Leakage) 與高頻 (High Frequency) 量測設計，確保信號傳輸的純淨度與穩定性。
- 高精密手動控制：提供極佳的探針定位精度，適用於微細結構元件測試。
為了因應不同的研發場景，本系統提供豐富的升級選項：
- 溫控系統 (Thermal Chuck)：支援 -40°C 至 200°C 寬溫測試環境，滿足元件可靠性分析。
- 多功能探針支援：可依需求配置 DC / CV / RF 專用探針座。
- 環境控制系統：可整合 CDA (乾燥壓縮空氣) 與 真空系統 (Vacuum System)。
- 防震隔離系統 (Vibration System)：有效隔離環境震動，確保微米級量測的精準度。
- 半導體元件特性分析 (DC/CV/RF)
- 高低溫環境可靠性測試
- 低電流元件精準量測